应我校材料与化学工程学院、河南省表界面科学重点实验室邀请,近日，湖南大学物理与微电子科学学院段辉高教授来我校进行学术交流访问，并为材料与化学工程学院部分教师、研究生和相关专业本科生作了一场学术报告。

 段辉高教授报告的题目是“亚10nm图形加工及应用”，报告分为两部分进行，第一部分介绍了本人近年在电子束图形加工方面的工作，通过研究电子束图形加工的分辨率限制因素以及优化其工艺参数，实现了10nm以下周期（5nm半周期）的分辨率，最小线宽可达到3nm。报告第二部分着重介绍亚10nm电子束加工在表面等离子体光学器件制作、纳米光学防伪以及高密度磁存储等原型器件开发中的应用。最后，针对老师和同学们提出的“高分辨图形加工在微纳光学以及电子学等研究领域所起的作用”等问题，段辉高教授作了精彩的回答，赢得了同学们的阵阵掌声。

段辉高教授来校学术交流期间，考察了材料与化学工程学院、河南省表界面科学重点实验室的科研与工作条件，对我院在学科建设、科研梯队建设以及科研投入等方面提出了宝贵的建议。

材料与化学工程学院

2014-11-05