应材料与化学工程学院和河南省表界面科学重点实验室邀请，中国科学院微电子研究所副研究员张庆钊于2014年06月17日来我校进行学术交流，并为材料与化学工程学院教师和学生作了题为“微细加工技术和设备”学术报告。

张庆钊副研究员首先介绍了微电子设备技术研究室的发展情况，引出了微细加工技术的重要性，随后从“微细”、“加工”、“技术”三点详细介绍了什么是微细加工技术，从中引出了目前微细加工技术的热点应用领域，如美国(硅)半导体加工、德国激光方面、日本的精细加工等，他们是微细加工技术运用最好的领域，最后介绍了该技术所用到的工艺与设备：等离子体刻蚀设备、等离子化学沉积设备及物理溅射沉积技术。

张庆钊副研究员的报告内容翔实，充分调动了同学们的兴趣和积极性。最后，张庆钊副研究员和在场师生就 “磁控溅射和原子沉积的区别及原子沉积的应用” 进行了互动交流。

材料与化学工程学院

2014-06-23