应材料与化学工程学院、河南省表界面科学重点实验室邀请，2014年01月6日，湖南大学物理与微电子科学学院段辉高教授来我校进行学术交流，并为材料与化学工程学院广大师生作了题为“亚10纳米电子束加工及应用”的学术报告。

报告分了两部分进行，报告第一部分详细介绍了他近些年在电子束图形加工方面的工作。通过研究电子束图形加工的分辨率限制因素以及优化其工艺参数，实现了10nm以下周期（5nm半周期）的分辨率，最小线宽可达到3nm。报告的第二部分着重介绍亚10nm电子束加工在表面等离子体光学器件制作、纳米光学防伪以及高密度磁存储等原型器件开发中的应用。随后，段教授就师生关心的问题进行了互动交流，段教授的报告紧贴科学发展前沿，注重实际应用，其“通过基础研究创新带动应用创新”的理念，使广大师生深受启发。

段辉高教授来校学术交流期间，考察了材料与化学工程学院、河南省表界面科学重点实验室，对我院在学科建设、团队建设、人才培养、交流合作给予高度评价。

材料与化学工程学院

2014-01-09