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扫描电子显微镜


发布部门: 材料与化学工程学院  发布时间: 2013-02-24  浏览次数: 1140

扫描电子显微镜 

设备名称:

扫描电子显微镜(SEM

    号:

JSM-6490LV    

  地:

日本

    值:

145万元

购置年份:

20084

主要技术参数:

1.分辨率:小于3.0nm 30kV,高真空,钨灯丝,二次电子);小于4.0nm(钨灯丝,背散射电子);

2.加速电压最小范围:0.530KV10V/步;

3.放大倍数范围:20300,000 倍;  

4.高真空度:1.5×10-3Pa;低真空度:6270Pa

5.能谱仪SiLi)探测器:分辨率优于133eV

6.能谱探测器的有效面积:10mm2

7.能谱元素分析范围:B5U92

应用领域:

广泛应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等各领域。主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。随着材料科学和高科技的迅速发展,扫描电镜在得到较好的试样形貌像的前提下,同时得到成分信息和晶体学的信息,使得扫描电镜测试技术在新型材料学科领域中的应用也日益广泛。


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